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碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势 - 艾邦半导体网
4 天之前 摘要. 碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应，给现有的加工技术带来了巨大的挑战，高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热 4 天之前 天科合达专注于碳化硅晶体生长和晶片加工的技术研发，建立了拥有自主知识产权的“PVT 碳化硅单晶生长炉制造技术”、“高纯度碳化硅生长原料合成技术”、“PVT 碳化硅 国内碳化硅（SiC）长晶炉供应商10强 - 艾邦半导体网
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「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决方案，实现 ...
2024年3月7日 文章探讨了碳化硅晶圆制造中的各种精密加工技术，以及它们如何帮助实现产品的高性能和高可靠性。 同时，文章也提到了中国在全球碳化硅晶圆市场中的增长潜 碳化硅主要由SiC组成，是耐腐蚀性优越陶瓷材料，可用在机械密封和泵零部件中。 在高达1400℃的温度下，碳化硅仍能保持其强度。 碳化硅相关产品碳化硅精密陶瓷（高级陶瓷）京瓷 - KYOCERA
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100微米以下超精密磨削！北京中电科碳化硅全自动减薄机顺利 ...
6 天之前 碳化硅减薄机是一款用于碳化硅晶锭、衬底片或芯片背面进行减薄的设备。 “碳化硅是一种非常硬的材料，因此其减薄厚度的准确测量与控制非常难把握，对于减薄机的磨 SiC晶圆（silicon carbide，碳化硅）作为高耐压、低功率损耗的半导体材料，广泛用于功率器件。. SiC功率器件一般具有垂直型器件结构，通过减薄其晶圆的厚度可以降低衬底基板 SiC器件晶圆的研削 研削 解决方案 DISCO Corporation
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晶圆制造设备 精密陶瓷（先进陶瓷） 京瓷 - KYOCERA
可从丰富的材料及优秀的特性中任意选择，京瓷精密陶瓷的产品类别半导体 / 液晶显示器加工设备 晶圆制造设备页面。.2023年2月27日 与硅基半导体材料相比，碳化硅具备能量损耗低、封装尺寸更小、可实现高频开关以及耐高温、散热能力强的突出优势，适合制作高温、高频、抗辐射及大功率器 机械设备行业周报：关注碳化硅设备国产化突破和加速-研究 ...
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「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决方案，实现 ...
2024年3月7日 碳化硅（SiC）作为一种先进的半导体材料，在多个关键领域中具有重要应用。随着技术进步和市场的需求增长，碳化硅晶圆的制造工艺和精密加工技术变得至关重要。文章探讨了碳化硅晶圆制造中的各种精密加工技术，以及它们如何帮助实现产品的高性能和高可靠性。同时，文章也提到了中国在全球 ...2024年1月3日 钛合金材料加工难度更高，会出现高磨削温度、砂轮黏附等问题，需要对现有设备进行升级改造或更新，有望拉动相关磨抛设备需求。 碳化硅：行业高增长拉动磨抛设备需求，国产设备开发落地后续潜在边际催化较多。磨床行业深度报告：为精加工而生 丝杠、钛合金、碳化硅催化 ...
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碳化硅陶瓷的结构及精加工设备_黑色_浅绿色_机床
2023年9月26日 原标题：碳化硅陶瓷的结构及精加工设备. 碳化硅陶瓷的色泽. 纯碳化硅陶瓷是无色透明的结晶，工业碳化硅有无色、淡黄色、浅绿色、深绿色、浅蓝色、深蓝色乃至黑色的，透明程度依次降低。. 磨料行业把碳化硅按色泽分为黑色碳化硅陶瓷和绿色碳化硅陶 2022年3月2日 1. SiC 碳化硅：产业化黄金时代已来；衬底为产业链核心. 1.1. SiC 特点：第三代半导体之星，高压、高功率应用场景下性能优越. 半导体材料是制作半导体器件和集成电路的电子材料。. 核心分为以下三代：. 1) 第一代元素半导体材料：硅（Si）和锗 (Ge)；为半 碳化硅衬底设备行业深度报告：新能源需求兴起，国产替代有 ...
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造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_工艺_碳化硅_中国
2023年5月21日 采用PTV法生长碳化硅晶体的设备为长晶炉，该设备在保证满足设计技术要求基础上，还要注意到长晶炉部件在碳化硅晶体生长中经历的苛刻条件，例如：晶体生长室及石墨坩埚等热场核心组件需具备承受2500℃高温的能力；长晶炉加工制作工艺的精密要 2020年10月21日 以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1.碳化硅晶体生长及加工关键设备 主要包括: 碳化硅粉料合成设备 用于制备生长碳化硅单晶所需的碳化硅粉料,高质量的碳化硅粉料在后续的碳化硅生长中对晶体质量有重要作用。首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备？有多难做 ...
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知乎 - 有问题，就会有答案
2023年4月26日 精密运动模组及控制技术 可提升平台定位精度，满足多维激光加工轨迹的精确控制，平台定位精 度 0.5μm、平台动态起伏小于 0.5μm、多维激光加工轨迹控制精度 3μm， 适用于半导体、显示面板、消费电子等多个领域的激光精细微加工设备。碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片设备加速 ...
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碳化硅（SiC）抛光板精密陶瓷（高级陶瓷）京瓷 - KYOCERA
碳化硅（SiC）抛光板. 热分布范围较小，因而变形较小。. 耐化学性更强。. 表面轮廓可用。. 因具有高导热性、低热膨胀系数、高刚度和良好的热均匀性，其抛光板变形较小。. 它还具有良好的耐化学性，有多种表面轮廓，包括凹面、平面和凸面。. 导热性强. 热 ...2023年8月28日 SiC衬底激光剥离设备是一款基于SPARC激光技术实现碳化硅衬底高效剥离的设备，能够实现对SiC晶锭的精准定位、均匀加工、连续剥离。 该设备适用于不同厚度和尺寸的SiC衬底加工，为SiC衬底的生产提供了革新的解决方案，有效降低SiC材料的切片损耗，提升加工速度，助力SiC衬底行业的降本增效。SiC衬底激光剥离设备-西湖仪器（杭州）技术有限公司
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碳化硅SiC切削难点解析-鑫腾辉数控
2020年2月25日 碳化硅是一类硬度超高的材料，加工难度也很高。今天我们来讲讲破解碳化硅加工的方法。目前加工碳化硅主要采用磨床、陶瓷精雕机等设备。鑫腾辉是陶瓷精雕机生产厂家。 1. 引言2023年10月9日 在深圳“20+8”产业政策的积极信号下，亚太（深圳）国际精密加工及设备展览会将于2023年5月在深圳会展中心举办。展会将重点展示全国及世界各地精密制造业相关的电子制造设备、自动化设备、机床机械设备、激光设备、模具、测量、加工工具、刀具、磨具等相关的新品牌、新设备、新技术。亚太（深圳）国际精密加工及设备展览会
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造一颗SiC芯片，需要哪些关键设备？_中国纳米行业
2023年5月13日 采用PTV法生长碳化硅晶体的设备为长晶炉，该设备在保证满足设计技术要求基础上，还要注意到长晶炉部件在碳化硅晶体生长中经历的苛刻条件，例如：晶体生长室及石墨坩埚等热场核心组件需具备承 2023年12月13日 碳化硅陶瓷. 经验小结：碳化硅陶瓷精密加工属于业内难度最高的业务，鑫腾辉数控对此进行了专项攻关——选用转速在每24000转的中高速电主轴，这样既能保证碳化硅加工时所需的足够扭矩，同时又能避免因转速过高而造成的刀具过度损耗的弊端；细化 鑫腾辉数控：其实碳化硅、氮化硅陶瓷精密加工没有那么难 ...
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2024年宇环数控研究报告：数控抛磨设备龙头，受益3C复苏和 ...
2024年1月11日 公司成立全资子公司宇环精研，开发半导体加工设备。 根据23 年11 月公司公告，根据半导体产业领域的磨抛设备加工需求和公司前期市场业务开发推进计划,为了更好地推动新业务开展，公司拟投资设立了全资子公司宇环精研，以集中技术和人力资源专业开发半导体加工相关设备。2022年1月8日 苏州西马克精密陶瓷有限公司，专业致力于氧化铝、氧化锆、氮化硅、氮化硼，碳化硅陶瓷等工业陶瓷的生产、研发和定制加工。产品广泛应用于半导体、机械、化工、冶金、矿山、电力、航天航空、汽车制造、光伏等领域，具体有耐磨损、耐腐蚀、高强度、绝缘性好等特点。苏州西马克精密陶瓷有限公司 - 氧化锆陶瓷；氮化硅陶瓷 ...
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精密激光 加工领军者，多重高成长领域布局将迎放量
2023年7月24日 图表9公司近年盈利表现. 安证券研究所资料来源:同花顺ifind,华安证券研究所公司精密激光加工设备主要应用于半导体及光学、显示、消费电子、新能源、科研 . 其他市场等领域,新能源是公司最新布局进入的领域。其中半导体及光学领域设备收入占比最高,21 年 ...2024年1月5日 2.4 丝杠、钛合金、碳化硅市场需求多点爆发，有望催化国产崛起. 2.4.1 丝杠：磨床为磨制丝杠核心设备，通过国产设备降本势在必行. 滚珠丝杠加工一般分为磨削加工与冷轧加工，冷轧加工通过冷加工工艺模具制造，批量生 产后成本低，但是通常精度控制有限 ...2024年磨床行业研究：为精加工而生，丝杠、钛合金 ...
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晶圆制造设备 精密陶瓷（先进陶瓷） 京瓷 - KYOCERA
压电陶瓷. 蓝宝石基板 氧化铝陶瓷 氮化硅 陶瓷基板 氧化锆陶瓷 加热器 LED有蓝宝石 介质谐振器 单晶片 蓝宝石 碳化硅. 材料性质 (PDF/1.5MB) 目录表 (PDF) 可从丰富的材料及优秀的特性中任意选择，京瓷精密陶瓷的产品类别半导体 / 液晶显示器加工设备 晶圆制造 ...2024年5月29日 陶瓷精密加工 首先，我们需要了解碳化硅陶瓷粉尘对加工设备 的侵蚀原理。碳化硅陶瓷粉尘是由碳化硅颗粒和空气组成的混合物，当这些粉尘与设备表面接触时，会发生化学反应，生成二氧化硅和碳酸钠等物质。这些物质会进一步侵蚀设备表面 ...陶瓷精雕机如何防止碳化硅陶瓷粉尘侵蚀_的设备_加工_设计
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一块“完美”的碳化硅晶片,少不了这4个加工步骤
2022年4月2日 通过上一篇文章我们知道，碳化硅晶体具有高硬、高脆、耐磨性好、化学性质极其稳定的特点，这使得碳化硅晶片加工变得非常困难。 今天的文章我们主要讲碳化硅晶片的加工。 碳化硅晶片的超精密加工，按照其加工顺序，主要经历以下几个过程：切割、研磨、粗抛和超精密抛光四个步骤。2022年1月8日 苏州西马克精密陶瓷有限公司专业致力于氧化铝、氧化锆、氮化硅、氮化硼,碳化硅等工业陶瓷产品的研发、生产和定制加工。 西马克拥有专业的技术团队和多年工业陶瓷领域的加工经验，我司产品80%出口至韩国、美国、德国、香港、台湾、新加坡、阿联酋、保加利亚等国家的用户，在国际市场上有 ...关于我们,苏州西马克精密陶瓷有限公司
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碳化硅生胚精密加工：陶瓷雕铣机解决粉尘问题_设备_方式_降低
2024年3月6日 在碳化硅生胚精密加工 过程中，由于碳化硅材料的硬度较高，加工过程中会产生大量的陶瓷粉尘。这些粉尘不仅会对加工环境造成污染，还会对操作人员的健康造成威胁。此外，陶瓷粉尘还会对设备造成磨损，降低设备的使用寿命。因此，如何 ...2024年2月20日 陶瓷精密加工 首先，我们来了解一下陶瓷生胚加工机床加工碳化硅陶瓷的原理。陶瓷生胚加工机床是一种利用高速旋转的刀具对陶瓷生胚进行切削、磨削等加工过程的设备。在加工过程中，刀具与陶瓷生胚之间存在较高的摩擦力，通过调整刀具的 ...碳化硅陶瓷加工新方法：陶瓷生胚加工机床的优势与挑战 ...
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一种高效碳化硅精磨粉加工用设备.pdf 7页 VIP - 原创力文档
2023年2月15日 一种高效碳化硅精磨粉加工用设备.pdf,本实用新型公开了一种高效碳化硅精磨粉加工用设备，包括支撑杆，支撑杆的顶部垂直设有两个相互平行的圆形盖，圆形盖的两侧端设有与其滑动连接的弧形板，弧形板和圆形盖连接处密封设置，圆形盖的顶部固定有进料口，进料口的顶部设有与其铰接的顶盖 ...2024年2月21日 2. 磨削设备：磨削设备主要用于对碳化硅陶瓷工件进行精磨和抛光处理，提高工件的表面质量和光洁度。磨削设备包括平面磨床、外圆磨床、内圆磨床、曲线磨床等。3. 钻孔设备：钻孔设备主要用于对碳化硅陶瓷工件进行孔加工，包括钻孔、扩孔、镗孔等。碳化硅陶瓷工件非标定制：陶瓷雕铣机的优势与应用_加工 ...
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美尔森 高纯度等静压石墨 碳 钎焊夹具 玻璃－金属焊接
美尔森提议由超纯净石墨制成的且带碳化硅涂层的设备可以满足这些要求。 这些专门的解决方案是我们在材料和精加工方面钻研的成果: 经ETV-ICP法检查过的超纯净石墨等级。 我们石墨等级与碳化硅的兼容性（CTE）保证了防护涂层的长期完整性。三种技术路线，精加工主要采用磨削加工，磨削工时约占总工时的39%，从秦川机床案例看磨床的投资额约占丝杠扩 产设备投资额的48%。 丝杠加工难点主要集中在滚道加工，螺母、丝杠轴分别需要进行内螺纹、外螺纹加工。磨床为精加工而生，技术壁垒较高：磨床为适应精加工和硬 ...
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自主研发精度高，博宏源高精度研磨/抛光设备助力先进制造 ...
2021年8月26日 设备主要用于碳化硅、集成电路、分离器件、LED芯片等的背面减薄，也适用于硅、锗、石英、砷化镓、陶瓷等硬脆材料的精密减薄。根据设备配置，最大可以加工到8"。通过使用细目磨轮可直接对蚀刻表面和抛光表面实施研削加工，不但能减小晶片之间的厚度2023年11月30日 此外，加工烧结后的碳化硅陶瓷还面临着降低细尘和碎屑产生的挑战。同时，陶瓷雕铣机具备高性能的防尘功能，采用先进的除尘装置和封闭式加工区域，可以有效防止碳化硅陶瓷细尘的扩散，保护设备的运行和使用寿命。 此外，陶烧结后的碳化硅陶瓷如何精密加工_的材料_瓷雕_设备
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